特許
J-GLOBAL ID：200903071179246570
画像形成パネルの製造方法及びその脱ガス装置及び前記画像形成パネルを用いた画像形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020991
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213224
出願日： 1996年02月07日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】 気密容器内の排気中に、電子源から電子を放出させて蛍光体面を照射することにより、蛍光体面に吸着或は付着したガスを効率良く脱離できる画像形成パネルの製造方法及び脱ガス装置及び当該画像形成パネルを用いた画像形成装置を提供する。【解決手段】 マルチ電子源基板の表面伝導型電子放出素子の通電活性化終了後、そのパネル容器を排気する際、マルチ電子源基板とフェースプレート間に印加する加速電圧を0〜5[KV]の間で変化させ、このマルチ電子源の行方向端子Dx1〜Dxmのそれぞれに印加するパルス電圧を14[V]固定で、100μ秒のパルス幅とする。このようなパルス電圧の印加サイクルを200ミリ秒周期で行方向端子の全てに対して順次実行し、このようなサイクルを複数回繰返すことにより、フェースプレートの蛍光体に付着或は吸着されているガスを迅速に脱離して除去することができる。
請求項（抜粋）：
電極間に電子放出部を形成した表面伝導型放出素子を複数素子備えたマルチ電子源を有する画像形成パネルの製造方法であって、前記マルチ電子源の各表面伝導型電子放出素子を基板上に形成する工程と、気密容器内を排気した後、前記気密容器内で前記表面伝導型電子放出素子に対して通電フォーミングを行う工程と、前記気密容器内で通電活性化を行う工程と、前記通電活性化の後、前記気密容器より更に排気する際に、前記表面伝導型電子放出素子から電子を放出させる電子放出工程と、を有することを特徴とする画像形成パネルの製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/39
, G09F 9/313
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 9/39 A
, G09F 9/313 Z
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
