高純度フッ化カルシウムおよびその中間体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柿沼伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-292690
公開番号（公開出願番号）：特開2003-095648
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】真空紫外波長域における光学部材として使用することができる含有不純物金属が極めて少ない高純度フッ化カルシウムおよびその中間体を製造する方法並びに高純度フッ化カルシウムを提供する。【解決手段】カルシウム化合物にアルカリを添加してpHが12〜13.5の領域において水酸化カルシウムを得る工程(工程1)と、工程1を経て得られる水酸化カルシウムに酸を添加してpHを1〜7に調整し、シュウ酸を添加してシュウ酸カルシウムを得る工程(工程2)と、工程2を経て得られるシュウ酸カルシウムに、フッ化水素を添加してフッ化カルシウムを得る工程(工程3)を含む製造方法。

請求項（抜粋）：

カルシウム化合物またはカルシウム化合物の溶液もしくは懸濁液にアルカリを添加してpHを調整し、pHが12〜13.5の間の領域において水酸化カルシウムの沈殿を生成させ、固液を分離して不純物金属の含有量が低減された水酸化カルシウムを得る工程(工程1)と、前記工程1を経て得られる水酸化カルシウムまたは該水酸化カルシウムの溶液もしくは懸濁液に酸を添加してpHを1〜7に調整し、シュウ酸、シュウ酸塩およびシュウ酸化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物を添加してシュウ酸カルシウムの沈殿を生成させ、固液を分離して不純物金属の含有量が低減されたシュウ酸カルシウムを得る工程(工程2)と、前記工程2を経て得られるシュウ酸カルシウムまたは該シュウ酸カルシウムの溶液もしくは懸濁液に、フッ化水素、フッ素ガスおよびフッ化アンモニウムからなる群から選ばれる少なくとも1種を添加してフッ化カルシウムの沈殿を生成させ、固液を分離して不純物金属の含有量が低減されたフッ化カルシウムを得る工程(工程3)を含むことを特徴とする高純度フッ化カルシウムの製造方法。

IPC (5件)：

C01F 11/22 , C01F 11/02 , C07C 51/41 , C07C 55/07 , C30B 29/12

FI (5件)：

C01F 11/22 , C01F 11/02 Z , C07C 51/41 , C07C 55/07 , C30B 29/12

Fターム (26件)：

4G076AA05 , 4G076AA10 , 4G076AA26 , 4G076AB06 , 4G076AB12 , 4G076AB18 , 4G076BA33 , 4G076BD01 , 4G076BE11 , 4G076CA36 , 4G076DA11 , 4G077AA01 , 4G077AA02 , 4G077AB01 , 4G077BE02 , 4G077CB02 , 4G077EB01 , 4G077EB06 , 4G077EC04 , 4H006AA02 , 4H006AC47 , 4H006BB31 , 4H006BC53 , 4H006BE11 , 4H006BS10 , 4H006BS70

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