特許

J-GLOBAL ID：200903071197410574

円筒状被検物の表面凹凸検査方法及び同検査装置

発明者： 崎田 隆二
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-265637
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168611
出願日： 2001年09月03日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】 感光体ドラム等の円筒状被検物の凹凸欠陥を感度よく検出できる方法、装置を提供する。【解決手段】 スポット光2を円筒状被検物1の軸方向に沿って等速走査させ、その反射光をライン型受光素子3で受光する。ライン型受光素子3の走査クロックをスポット光2の走査速度と同じに設定する。スポット光2の位置が反射光をライン型受光素子3の視野4の内側であるため受光量が大きくなるが、円筒状被検物1の高さが変化すると、スポット光2’が視野4外になって受光量が減少するので、円筒状被検物1を回転させて全面にスポット光2を走査させる。円筒状被検物1に凹凸の変化があるところで受光量が減少するため凹凸検査が可能となる。

請求項（抜粋）：

円筒状被検物を回転させながら該円筒状被検物の稜線上にスポット光を走査させ、該スポット光走査方向と同方向に画素が配列されたライン型受光素子を用いて上記スポット光走査と同期させながら受光し、上記ライン型受光素子の各画素での受光量の減少から上記円筒状被検物の表面凹凸を検出することを特徴とする円筒状被検物の表面凹凸検査方法。

IPC (5件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/952 ,  G03G 5/00 101 ,  G03G 21/00 ,  G03G 21/00 350

FI (5件)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/952 ,  G03G 5/00 101 ,  G03G 21/00 ,  G03G 21/00 350

Fターム (31件)：

2F065AA49 ,  2F065BB08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065GG14 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL15 ,  2F065MM26 ,  2F065MM28 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051BC01 ,  2G051BC06 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CD01 ,  2G051CD02 ,  2H035CA07 ,  2H035CB01 ,  2H035CB02 ,  2H068EA41 ,  2H068EA43 ,  2H134QA02