特許
J-GLOBAL ID：200903071205538275
メソ構造体薄膜およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-138241
公開番号（公開出願番号）：特開2002-338228
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 任意の基板上に配向性のチューブ状細孔を有するメソ構造体薄膜を形成する方法を提供する。【解決手段】 スピンコーティングにより界面活性剤と無機酸化物前駆物質を含む前駆体溶液を基板上に塗布してメソ構造体薄膜を作成する方法において、界面活性剤と無機酸化物前駆物質を含む前駆体溶液を調整する工程と、基板をスピンコーティング装置の回転中心の外側に保持する工程と、該基板上に前駆体溶液を載せてスピンコーティングにより塗布してメソ構造体の薄膜を作成する工程とを含むメソ構造体薄膜の製造方法。
請求項（抜粋）：
界面活性剤と無機酸化物前駆物質を含む前駆体溶液を遠心力を用いて基板上に塗布して作成されたメソ構造体薄膜であって、該薄膜内のチューブ状の細孔が基板に印加された遠心力の方向に略平行に配向していることを特徴とするメソ構造体薄膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 33/12 C
, C01G 19/02 C
4G072AA25
, 4G072BB09
, 4G072BB13
, 4G072BB15
, 4G072GG01
, 4G072HH30
, 4G072KK17
, 4G072NN21
, 4G072RR12
, 4G072UU11
, 4G072UU15
