照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260468
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075835
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】コンパクト化と良好な光学性能の確保とを両立させることのできる照明光学装置。【解決手段】光源手段(1)からの光束に基づいて第1多数光源を形成する第1オプティカルインテグレータ(6,60)と、第1多数光源からの光束に基づいて第2多数光源を形成する第2オプティカルインテグレータ(8)とを備え、第2多数光源からの光束で被照射面(11)を照明する。光源手段からの光束を所定の形状の光束に変換する光束変換素子(4,40,41)と、光束変換素子からの光束を集光して光軸(AX)に対してほぼ対称に斜め方向から第1オプティカルインテグレータへ入射させる第1光学系(5)とを備えている。光束変換素子からの射出光束の開口数が第1多数光源からの光束の開口数よりも大きく設定されている。

請求項（抜粋）：

光源手段からの光束に基づいて多数の光源からなる第1多数光源を形成するための第1オプティカルインテグレータと、前記第1多数光源からの光束に基づいてより多数の光源からなる第2多数光源を形成するための第2オプティカルインテグレータとを備え、前記第2多数光源からの光束で被照射面を照明する照明光学装置において、前記光源手段からの光束を所定の形状の光束に変換するための光束変換素子と、前記光束変換素子からの光束を集光して、基準光軸に対してほぼ対称に斜め方向から前記第1オプティカルインテグレータへ入射させるための第1光学系とを備え、前記光束変換素子からの射出光束の開口数が、前記第1オプティカルインテグレータにより形成される前記第1多数光源からの光束の開口数よりも大きく設定されていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 19/00 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

G02B 19/00 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 527

Fターム (12件)：

2H052BA02 , 2H052BA03 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 5F046BA03 , 5F046CB01 , 5F046CB05 , 5F046CB12 , 5F046CB13 , 5F046CB23 , 5F046DA01 , 5F046DD03

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