特許

J-GLOBAL ID：200903071210115722

ハードディスク用基板のフレキシブル加工システム

発明者： 谷 和憲
出願人/特許権者： ユニーク テクノロジー インターナショナル プライベート リミテッド
代理人 (1件)： 二宮 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-202825
公開番号（公開出願番号）：特開2000-020951
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】ハードディスク用基板等に1枚ずつ一連の加工を施すための工程を自動化し、面粗さを改善し、表面を改質させることを連続的に1枚ずつあるいは片面ずつ可能にするフレキシブル加工システムを提供する。【解決手段】基板収納部とロボットアームとを有するローダユニットと、加工ユニットと、洗浄ユニットと、乾燥ユニットと、ロボットアームと基板収納部とを有するアンローダユニットとが一連に配置される。各基板はローダユニットからアンローダユニットまでロボットアームにより自動的に搬送され、加工ユニットに包含される各種のサブユニットで研削・ポリシング・電解研磨・レーザ加工など各種の加工が行われる。

請求項（抜粋）：

ハードディスク用の基板などを1枚ずつロボットアームを用いて搬送ならびに表裏反転しながら研磨・研削・洗浄などの一連の工程を1枚ずつあるいは片面ずつ処理するフレキシブル加工システムであって、複数の基板を揃えて収納する収納部と、この収納部内から基板を1枚ずつ把持して搬送ならびに表裏反転するロボットアームとを包含するローダユニットと、基板を載置するターンテーブルと、このターンテーブル上にある基板に研磨、研削、レーザ加工などさまざまな加工を施すサブ加工ユニットとを包含する1つ以上の加工ユニットと、加工後の基板を片面ずつ簡易洗浄する洗浄ユニットと、加工工程終了時に基板を乾燥させる乾燥ユニットと、基板を1枚ずつ把持して受け取るロボットアームと、複数の基板を揃えて収納する収納部とを包含するアンローダユニットとが一連に配置されており、各基板はローダユニットからアンローダユニットまでロボットアームにより自動的に搬送されるようになっていることを特徴とするハードディスク用基板のフレキシブル加工システム。

IPC (3件)：

G11B 5/84 ,  B08B 11/02 ,  B08B 1/00

FI (3件)：

G11B 5/84 Z ,  B08B 11/02 ,  B08B 1/00

Fターム (15件)：

3B116AA03 ,  3B116AB13 ,  3B116AB23 ,  3B116AB27 ,  3B116AB42 ,  3B116BA02 ,  3B116BA15 ,  3B116CC03 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112GA02 ,  5D112GA04 ,  5D112GA08 ,  5D112GA09 ,  5D112KK02