特許

J-GLOBAL ID：200903071213838644

両面研磨装置

発明者： 箱守 駿二 ,  市川 雅弘 ,  杉山 美寿男 ,  前田 誠一 ,  天野 健史 ,  相澤 智宏 ,  水野 憲明
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 中林 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-299345
公開番号（公開出願番号）：特開2001-121412
出願日： 1999年10月21日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：

【要約】【課題】 自動化し易いようにした両面研磨装置を提供する。【解決手段】 サンギアおよびインターナルギアに噛合い係合するキャリア内に被研磨物を位置し、上下面を上下定盤で挟持した状態で研磨する両面研磨装置であって、前記キャリアが前記サンギアの回りを公転することなく所定の位置で自転のみして被研磨物を研磨する。

請求項（抜粋）：

サンギアおよびインターナルギアに噛合い係合するキャリア内に被研磨物を位置し、上下面を上下定盤で挟持した状態で研磨する両面研磨装置であって、前記キャリアが前記サンギアの回りを公転することなく所定の位置で自転のみして前記被研磨物を研磨することを特徴とする両面研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 621

FI (2件)：

B24B 37/04 F ,  H01L 21/304 621 A

Fターム (8件)：

3C058AA07 ,  3C058AA16 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058CA01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09