特許
J-GLOBAL ID:200903071214397480

圧電アクチユエータの駆動方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-211209
公開番号(公開出願番号):特開平5-056667
出願日: 1991年08月23日
公開日(公表日): 1993年03月05日
要約:
【要約】【目的】 オープンループ制御による直線性のよい変位を得ることができ、ヒステリシスの影響を受けず、駆動回路を小型化、高効率化することができ、DAコンバータを不要とする圧電アクチュエータの駆動方法およびその装置を提供する。【構成】 入力制御信号をAD変換器10によりデジタル信号に変換し、そのデジタル信号により、デジタル圧電素子の圧電層2を駆動するものである。デジタル圧電素子は、デジタル信号により駆動されるため、ヒステリシスに伴う変位誤差がない。圧電素子は、符号化されたデジタル信号により駆動されるように、グループ化されて構成されている。
請求項(抜粋):
圧電アクチュエータの複数個の圧電層に電圧を印加して変位を得る圧電アクチュエータの駆動方法において、デジタル信号により各圧電層を選択的に駆動して変位量を任意に設定可能とすることを特徴とする圧電アクチュエータの駆動方法。
IPC (2件):
H02N 2/00 ,  H01L 41/09

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