特許
J-GLOBAL ID：200903071216551354
基板搬送用アーム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-186032
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029431
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】 基板とアームの接触での発塵を低減させてアームからの基板の汚染を最小限に抑え、かつ安価に構成する。【構成】 アーム本体1の基板接触部分に石英製の支持ピン3等の支持部品を取付けることにより、発塵を低減させ、基板21の汚染を抑制する。また、支持部品はアームの一部分であるため支持部品の材料は高価であっても安価に構成できる。支持部品としては上記石英の他、金属酸化物等の材料を用いることができ、またその形状としてピン状の他、環状、板状にしてもよい。
請求項（抜粋）：
基板を収納するカセット又は支持台から基板を取り出して搬送する基板搬送装置における基板搬送用アームにおいて、基板を保持するアームの基板接触部分に支持部品を取付けたことを特徴とする基板搬送用アーム。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 15/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/136 500
