特許

J-GLOBAL ID：200903071216556984

位置合せ方法およびこの方法を用いた高さ測定装置

発明者： 原口 直士 ,  下道 幸永
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231062
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122823
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】本発明は、精度の高い位置合せおよび高さ測定を行うことができ、しかも作業者にかける負担が少なく、高い作業能率を実現できる位置合せ方法およびこの方法を用いた高さ測定装置を提供する。【解決手段】顕微鏡系1の観察光学系の焦点面をボンディングワイヤー2aの予め定めた高さに合わせCCDカメラ31により画像を取得し、この像中の高輝度領域を求めるとともに、この高輝度領域の重心位置を求め、この高輝度領域の重心位置をXYステージ駆動系35を制御して対物レンズ13の光軸上に配置させ、走査ビームを照射して反射光光量が最大となるダイクロイックミラー12の向きを調整した後、信号処理部22により焦点ずれ信号を検出し、この焦点ずれ信号に基づいてボンディングワイヤー2aの高さを測定する。

請求項（抜粋）：

測定対象物の所定の高さ面の像を取得し、この取得した像中の高輝度領域を求めるとともに、この高輝度領域の重心位置を求め、この高輝度領域の重心位置を前記測定対象物の位置合せ部位とすることを特徴とする位置合せ方法。

IPC (6件)：

G01B 11/02 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/28 ,  G02B 21/00 ,  H01L 21/60 301

FI (6件)：

G01B 11/02 Z ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/00 D ,  G01B 11/28 Z ,  G02B 21/00 ,  H01L 21/60 301 L