X線装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-046288
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254493
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 X線源から発生するX線と共に放出される前記標的材料の蒸発物質及び/又は飛散物質を捕獲するX線透過性膜を交換する必要がなく、或いは、長期間交換する必要がなく、そのため、運転効率が格段に向上するX線装置を提供する。【構成】少なくとも、標的材料への量子線照射によりX線を発生するX線源を有するX線発生手段と該X線源とX線被照射物又はX線光学素子との間に設けた遮蔽手段100 であって、前記X線源から発生するX線と共に放出される前記標的材料の蒸発物質及び/又は飛散物質を捕獲するX線透過性膜101 を有する遮蔽手段100 と、該X線透過性膜101 を加熱して、該X線透過性膜101 により捕獲された前記蒸発、飛散物質を蒸発させる加熱手段105 と、からなるX線装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも、標的材料への量子線照射によりX線を発生するX線源を有するX線発生手段と該X線源とX線被照射物又はX線光学素子との間に設けた遮蔽手段であって、前記X線源から発生するX線と共に放出される前記標的材料の蒸発物質及び/又は飛散物質を捕獲するX線透過性膜を有する遮蔽手段と、該X線透過性膜を加熱して、該X線透過性膜により捕獲された前記蒸発、飛散物質を蒸発させる加熱手段と、からなるX線装置。

IPC (2件)：

H05G 1/00 , H05G 2/00

FI (2件)：

H05G 1/00 C , H05G 1/00 J

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭61-179046
特開昭61-158656
特開昭58-040757

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