特許

J-GLOBAL ID：200903071222916852

圧電共振子およびこれを用いた圧電発振器並びに圧電共振子の製造方法

発明者： 山田 朗 ,  前田 智佐子 ,  内川 英興
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-348390
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168675
出願日： 1999年12月08日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 弾性波の振動部となる浮き構造部において平滑な端面を有し、かつ高周波領域においても優れた周波数特性が得られる圧電共振子を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明における圧電共振子は、貫通孔が形成されたシリコン基板、ボロンをドープしたシリコンからなり前記貫通孔を覆うように前記シリコン基板により支持されたボロンドープ層、前記ボロンドープ層上に配置された絶縁体層、並びに前記絶縁体層上に設けられ膜状の導電体からなる上部電極および下部電極が表面および裏面に形成された圧電体膜を備えた圧電共振子において、前記ボロンドープ層が前記絶縁体層よりも薄いことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

貫通孔が形成されたシリコン基板、ボロンをドープしたシリコンからなり前記貫通孔を覆うように前記シリコン基板により支持されたボロンドープ層、前記ボロンドープ層上に配置された絶縁体層、並びに前記絶縁体層上に設けられ膜状の導電体からなる上部電極および下部電極が表面および裏面に形成された圧電体膜を備えた圧電共振子において、前記ボロンドープ層が前記絶縁体層よりも薄いことを特徴とする圧電共振子。

IPC (3件)：

H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/56

FI (3件)：

H03H 9/17 F ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/56 C

Fターム (5件)：

5J108BB01 ,  5J108BB04 ,  5J108BB07 ,  5J108EE03 ,  5J108EE13