特許

J-GLOBAL ID：200903071228856266

帯電防止膜及び表示装置

発明者： 黒田 和生 ,  高木 博嗣
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-088513
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284284
出願日： 1997年04月07日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 極端に膜厚を薄くする必要がなく、膜厚制御が容易で、かつ安定性が高いスペーサ用帯電防止膜およびそれを用いた画像表示装置を提供する。【解決手段】 第1層として膜厚10nm〜1μmの半導電性膜25と、その表面に第2層として、前記第1層と異なる材料からなる膜厚1nm〜20nmの層26とを有することを特徴とする帯電防止膜。また、前記第1層25は、Al、B、Siから選ばれる少なくとも一種類と、Cr、Ti、Taから選ばれる少なくとも一種類とを組み合わせた合金窒化膜であることを特徴とする帯電防止膜。また、前記第2層26は、Hf-N、Hf-O、Pt、Auの内、いずれかであることを特徴とする帯電防止膜。

請求項（抜粋）：

基体上に、第1層として膜厚10nm〜1μmの半導電性膜と、その表面に第2層として、前記第1層と異なる材料からなる膜厚1nm〜20nmの層を有することを特徴とする帯電防止膜。

IPC (3件)：

H05F 1/02 ,  H01J 29/87 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H05F 1/02 E ,  H01J 29/87 ,  H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 内部支持構造体及び/若しくは隆起したブラックマトリクスを有するフラットパネル装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平6-518052   出願人：シリコン・ビデオ・コーポレイション