シャドウマスクの製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001021
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200548
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】ムシリ加工線を用いてムシリ加工してシャドウマスク製品仕上げ加工する際ムシリ加工線に沿って波打や変形等の不具合が生じないシャドウマスクの製造方法を提供することを目的とする【解決手段】金属基材11の両面に1次エッチング(ハーフエッチング)で小孔開口パターン12b、大孔開口パターン及びムシリ加工線をを形成する際ムシリ加工線(縦)13Yと平行にハーフエッチング領域14を形成し、金属基材11の小孔開口パターン12b側にエッチング耐蝕樹脂層を形成して2次エッチングして大孔開口パターン12aを形成した後、エッチング耐蝕樹脂層及びレジストパターンを剥離処理して、ムシリ加工線(横)13Xから所定の位置でシート状に断裁して半製品シャドウマスクを作製し、品質検査した後ムシリ線(横)13X、ムシリ線(縦)13Yに沿ってムシリ加工して製品シャドウマスクを得る。

請求項（抜粋）：

金属基材の両面に所望のレジストパターンを形成し、前記金属基材の両面から1次エッチング(ハーフエッチング)をして前記金属基材の両面に小孔開口パターン及び大孔開口パターンを形成した後、前記小孔開口パターン側の前記金属基材の片面にエッチング耐蝕樹脂層を形成し、前記金属基材のもう一方の面の大孔開口パターンを2次エッチングして貫通させた後、前記エッチング耐蝕樹脂層及び前記レジストパターンを剥離し、個々に断裁して半製品シャドウマスクを作製し、検査した後ムシリ加工線(縦)及びムシリ加工線(横)に沿ってムシリ加工して製品仕上げ加工を行うシャドウマスクの製造方法において、前記小孔開口パターン側のムシリ加工線(縦)に沿って帯状のハーフエッチング領域を設けることを特徴とするシャドウマスクの製造方法。

IPC (2件)：

H01J 9/14 , H01J 29/07

FI (2件)：

H01J 9/14 G , H01J 29/07 A

Fターム (5件)：

5C027HH14 , 5C031EE03 , 5C031EE15 , 5C031EH05 , 5C031EH08

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