特許
J-GLOBAL ID：200903071236318214
磁気記録媒体の製造方法及び製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-286949
公開番号（公開出願番号）：特開平8-147689
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 高密度記録に対応する為、低浮上量を容易にする表面粗さが極めて小さなディスクであっても、耐久性に優れ、かつ、環境安定性に優れた潤滑剤層を有する磁気記録媒体を量産性良く、かつ、生産安定性良く、しかも容易に製造できる技術を提供することを目的とする。【構成】 潤滑剤層が設けられた磁気記録媒体の製造方法であって、磁気記録媒体の原体をチャンバ内に立設する工程と、排気されたチャンバ内に反応ガスを供給する工程と、チャンバ内に立設された磁気記録媒体の原体に直接照射されることがないよう反応ガスにレーザ光を照射する工程とを具備する磁気記録媒体の製造方法。
請求項（抜粋）：
潤滑剤層が設けられた磁気記録媒体の製造方法であって、磁気記録媒体の原体をチャンバ内に立設する工程と、排気されたチャンバ内に反応ガスを供給する工程と、チャンバ内に立設された磁気記録媒体の原体に直接照射されることがないよう反応ガスにレーザ光を照射する工程とを具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (2件)：
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