計測装置及び検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-363771
公開番号（公開出願番号）：特開2004-198129
出願日： 2002年12月16日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

【課題】基板に反り等がある場合であっても、物理的な矯正を行わずとも、より正確な計測を行うことの可能な計測装置及び検査装置を提供する。【解決手段】三次元計測装置1は、三次元計測用照射手段5と、Z軸移動機構9により上下動可能なCCDカメラ6と、主制御手段7とを備えている。各撮像エリアでの撮像及び計測に先だって、所定の撮像エリアにおいて、予め定められた基準高さ位置に対する高さ方向のずれ量を測定し、ずれ量が予め定められた許容範囲内にある場合、相対高さ関係を保持したまま、当該エリアでの計測用の撮像を行い、次の撮像エリアに移行するときに、ずれ量分だけ相対高さ関係を補正する。ずれ量が許容範囲内にない場合には、ずれ量分だけ相対高さ関係を補正した上で、計測用の撮像を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に配設された計測対象に対し、所定の光を照射可能な計測用照射手段と、前記所定の光の照射された計測対象を、複数の各撮像エリア毎に撮像可能な撮像手段と、少なくとも前記撮像手段にて撮像された画像データに基づき、前記計測対象に関し二次元計測又は三次元計測を行う計測手段とを備えた計測装置であって、前記基板と前記撮像手段との相対高さ関係を調整可能な移動手段と、各撮像エリアでの前記撮像及び計測に先だって、所定の撮像エリアにおいて、予め定められた基準高さ位置に対する高さ方向のずれ量を測定するずれ量測定手段と、前記ずれ量測定手段により測定された高さ方向のずれ量が予め定められた許容範囲内にあるか否かを判定する判定手段とを設け、前記判定手段にて前記ずれ量が予め定められた許容範囲内にあると判定された場合には、前記基板と前記撮像手段との相対高さ関係を保持したまま、当該所定の撮像エリアでの前記計測用の撮像を行い、次の撮像エリアに移行するときに、前記移動手段を制御して前記ずれ量分だけ前記相対高さ関係を補正し、前記判定手段にて前記ずれ量が前記許容範囲内にないと判定された場合には、前記移動手段を制御して前記ずれ量分だけ前記相対高さ関係を補正した上で、当該所定の撮像エリアでの前記計測用の撮像を行うよう構成したことを特徴とする計測装置。

IPC (6件)：

G01B11/02 , G01B11/24 , G01B11/25 , G01N21/956 , G06T1/00 , H05K3/34

FI (9件)：

G01B11/02 H , G01N21/956 B , G06T1/00 305Z , G06T1/00 315 , G06T1/00 430H , H05K3/34 512B , G01B11/24 K , G01B11/24 E , G01B11/24 F

Fターム (55件)：

2F065AA53 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC01 , 2F065CC26 , 2F065DD06 , 2F065EE07 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF09 , 2F065FF41 , 2F065GG16 , 2F065GG17 , 2F065GG21 , 2F065HH05 , 2F065HH07 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065PP02 , 2F065PP12 , 2F065RR00 , 2F065TT07 , 2G051AA65 , 2G051AB14 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CD10 , 2G051DA07 , 2G051EA16 , 2G051ED08 , 2G051ED22 , 5B047AA07 , 5B047BC16 , 5B047CA12 , 5B047CB23 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA17 , 5B057CH18 , 5B057DA07 , 5B057DA08 , 5B057DB02 , 5B057DB03 , 5B057DB05 , 5B057DB09 , 5B057DC22 , 5E319AA03 , 5E319AA06 , 5E319AC01 , 5E319BB05 , 5E319CC33 , 5E319CD53 , 5E319GG03

引用特許：

審査官引用 (2件)

特許第2741971号
形状認識装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-033965 出願人：スズキ株式会社

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