特許
J-GLOBAL ID：200903071238576342
走査型露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332967
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167567
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】本発明は走査型露光装置において、スループツト及び露光精度を維持して大画面の原板の像を被露光体に露光する。【構成】原板(3)をほぼ鉛直に支持することにより、原板(3)のたわみによる投影光学系(2)の不都合を未然に防止し得、さらに等倍かつ正立の像の投影光学系(2)を複数配置することにより、原板(3)をほぼ鉛直に支持しても、被露光体(4)を一体に支持する支持手段(7)を水平方向に走査するだけで露光でき、鉛直方向にステツプ又はスキヤン駆動する必要がない分、全体の構成を簡略化し得る。また露光自体を一度のアライメントと一度の走査で完了するため、複数回のアライメント及び走査露光を必要とする従来の露光方法と比較して、スループツトを向上し得る。
請求項（抜粋）：
原板と被露光体を対向させてほぼ鉛直に支持する支持手段と、所定の方向に沿つて配置されると共に前記原板の等倍かつ正立の像を前記被露光体に投影する複数の投影光学系と、該複数の投影光学系に対して、前記原板及び前記被露光体を同期して、前記所定の方向と前記投影光学系の光軸方向とに直交する方向に走査する走査手段とを具えることを特徴とする走査型露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/50
, G03F 7/20 521
