特許
J-GLOBAL ID：200903071242186613
インクジェットヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210423
公開番号（公開出願番号）：特開平6-055733
出願日： 1992年08月06日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：
【要約】【目的】 高精細な印字品質を要求されるインクジェットプリンターの印字ヘッドの構造及びその製造方法を提供する。【構成】 (110)面方位のSiウェハーの両面に貫通溝のインク加圧室となるべきマスクパターンを形成し、湿式結晶異方性エッチングを行うことにより、ウェハー表面に対して垂直に出現する(111)結晶面で囲まれた貫通溝のインク加圧室を形成する。【効果】 ウェハー表面に対して垂直に出現する(111)結晶面で囲まれた貫通溝のインク加圧室を簡単に精度良く形成する事ができ、この貫通溝のインク加圧室を用いたインクノズル間ピッチが非常に狭い高密度マルチノズルインクジェットヘッドを容易に製造する事が出来る。
請求項（抜粋）：
複数ノズルと、該ノズル孔の各々に連通する複数の独立のインク加圧室と、該インク加圧室と連通してインクを供給するオリフィスと、該オリフィスに連通するインクだめを有するインクジェットヘッドにおいて、(110)面方位のSiウェハーを用いて、該インク加圧室の側面が表面に対して垂直に出現する(111)結晶面で囲まれた事を特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
