特許
J-GLOBAL ID：200903071242610784
ペレット分類装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-253984
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124994
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 ペレットの突き上げ精度を向上させて、ペレットの収容率を向上させるペレット分類装置を提供する。【構成】 ウェハ1上に可視光を照射する光源3と、前記可視光の反射画像を取り込むカメラ2と、ウェハ1上に形成されたカッティングライン1aを認識する認識部4と、カメラ2とウェハ1との位置ずれを演算する演算部5と、ウェハ1を載置するステージ8と、ステージ8を移動させる駆動部9と、ペレットを突き上げるニードル11と、突き上げ時にニードル11をガイドするニードルガイド12と、ペレットの突き上げ位置を補正する自動オフセット手段13と、突き上げ後のペレットを真空吸着してトレイ14へ搬送するコレット15とから構成され、自動オフセット手段13によってステージ8を移動させ、ペレットとニードル11との位置を合わせた後ペレットを突き上げる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハ上に光を照射する光源と、前記光の反射画像を取り込む撮像部と、該撮像部と接続されかつ前記半導体ウェハ上に形成されたカッティングラインを認識する認識部と、前記半導体ウェハを取り付けるウェハ固定部材を介して前記半導体ウェハを載置するステージと、ダイシング後のペレットを突き上げる針状の部材であるニードルと、前記ペレットの突き上げ位置を補正する自動オフセット手段とを有することを特徴とするペレット分類装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G01B 11/00
, H01L 21/301
