特許

J-GLOBAL ID：200903071247457380

流量計測装置

発明者： 堀江 潤一 ,  渡辺 泉 ,  中田 圭一 ,  上山 圭
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立カーエンジニアリング
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-073478
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270016
出願日： 2002年03月18日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】汚損物質の付着による特性変動および温度や圧力変動による特性変化を起こすという課題がある。【解決手段】発熱素子が配置されたダイアフラムを支持する板状の基板の空洞の開口部に、ダイアフラムに異物が付着しないように通気性防水体を設ける。【効果】ダイアフラムの裏面に汚損物質が付着することを防止するとともに、周囲空気と連動した圧力を導入することが可能となるためダイアフラムの圧力による変形を防止することが可能となり、特性変動が少なく信頼性が高い。

請求項（抜粋）：

流量検出素子を用いる流量計測装置において、上記流量検出素子は少なくとも、発熱素子が配置されたダイアフラムと、ダイアフラムを支持する板状の基板と、基板の一部を除去してダイアフラムを形成した空洞とを備え、上記空洞の開口部に通気性防水体を設けたことを特徴とする流量計測装置。

IPC (4件)：

G01F 1/684 ,  F02D 35/00 ,  G01F 1/00 ,  G01F 15/12

FI (5件)：

G01F 1/00 G ,  G01F 15/12 ,  G01F 1/68 101 A ,  F02D 35/00 366 E ,  F02D 35/00 366 N

Fターム (5件)：

2F030CA10 ,  2F030CC14 ,  2F030CF02 ,  2F035AA02 ,  2F035EA08