光学窓を用いる非接触式3次元微少形状測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：朝比一夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-309462
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160034
出願日： 1997年10月27日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】光の散りと光学窓を用いて非接触方式及び非破壊方式により高精度と単純な測定環境で容易に測定物の全体表面の3次元微少形状パターンを測定し得る光学窓を用いる3次元微少形状測定方法を提供する。【解決手段】測定物1はx-y方向に駆動装置2により移動可能な移送テーブル3に置かれている。測定物1の上部には光学部4が位置し、光学部4はイメージフレームグラッパー(Immage Frame Grabber)5に連結される。そして、駆動装置2とイメージフレームグラッパー5はコンピュータ6に連結され、コンピュータ6はネットワークによりカムシステム(CAM System)7及びカドシステム(CAD System)8と接続される。

請求項（抜粋）：

光源から放出された光を光学窓によりスリット形状の光に形成するステップ(S1)と、前記光学窓により形成された光を微少な高低差を有する多数の表面を有する測定物に照射するステップ(S2)と、前記高低差を有する多数の表面から反射される光をレンズを通過させて前記表面等から基準表面(P)を捜し出すステップ(S3)と、前記基準表面(P)で像が明確に結像する基準位置(p)を捜し出し、前記基準位置(p)では像が明確にスクリーンに結像し、基準位置(p)以外の位置はぼけた像が形成されるようにするステップ(S4)と、前記スクリーンに像が明確に結像した基準位置(p)に当る像の大きさと、前記スクリーンに形成された基準位置(p)以外の位置に当るぼけた像の大きさを所定数だけ測定するステップ(S5)と、前記明確に結像した像の大きさに対する前記ぼけた像の大きさの比率(ki)の値を求めるステップ(S6)と、前記ぼけた像の焦点がそれぞれ明確に合うようにし、これによる前記ぼけた像の移動距離を測定して、前記基準位置(p)と基準位置(p)以外の位置との相対的高低差(δi)の値を所定数だけ求めるステップ(S7)と、前記像の大きさの比率(ki)の値と前記相対的高低差(δ1)の値により、像の大きさの比率(k)と前記相対的高低差(δ)の関係式を得るステップ(S8)と、前記像の大きさの比率(k)と前記相対的高低差(δ)の関係式により、前記光学窓により形成された光で照射される測定物の表面の全ての相対的高低差(δ)を計算してその値を得るステップ(S9)と、前記測定物を移動させ前記ステップ(S1)から前記ステップ(S9)を繰返して測定物の全体表面の相対的高低差を求めるステップと、を含むことを特徴とする光学窓を用いる非接触式3次元微少形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G06T 7/00

FI (3件)：

G01B 11/24 C , G01B 11/24 K , G06F 15/62 415

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