不連続な前駆体の吐出による金属酸化物等の堆積方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小島高城郎 , 河合典子 , 佐藤卓也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-504394
公開番号（公開出願番号）：特表2007-531256
出願日： 2005年03月09日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：

【課題】類似の方法を、低スループット等の弱点が十分に回避されかつそれにもかかわらず原子層成膜が可能なように、さらに改良することである。【解決手段】本発明は、プロセスチャンバ内で少なくとも1つの膜を少なくとも1つの基板上に堆積する方法であって、膜が少なくとも1つの成分からなり、少なくとも第1の金属成分が、液体の又は液体に溶解した第1の原料を不連続に吐出する使用のもと、特に温度調節されたキャリアガス内で蒸発し、少なくとも第2の成分の化学反応原料が供給される方法に関する。原料が切換えられてプロセスチャンバ内に供給され、2番目の原料が化学反応ガス又は化学反応溶液であることが、本質的である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

プロセスチャンバ内において、少なくとも1つの層を少なくとも1つの基板上に堆積する方法であって、前記層が少なくとも1つの成分からなり、液体の又は液体に溶けた第1の原料を、特に温度調節されたキャリアガス中に不連続に吐出する使用の下、少なくとも第1の金属成分が蒸発し、少なくとも第2の成分が化学反応原料として供給される方法において、前記原料が、前記プロセスチャンバ内に交互に供給されることを特徴とする金属酸化物等の堆積方法。

IPC (3件)：

H01L 21/316 , C23C 16/455 , H01L 21/31

FI (3件)：

H01L21/316 X , C23C16/455 , H01L21/31 B

Fターム (54件)：

4K030AA13 , 4K030AA14 , 4K030BA01 , 4K030BA02 , 4K030BA04 , 4K030BA09 , 4K030BA10 , 4K030BA12 , 4K030BA13 , 4K030BA17 , 4K030BA18 , 4K030BA20 , 4K030BA22 , 4K030BA29 , 4K030BA42 , 4K030BA43 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030EA03 , 4K030FA10 , 4K030HA01 , 4K030HA11 , 4K030JA09 , 4K030KA39 , 4K030LA15 , 5F045AA04 , 5F045AB31 , 5F045BB02 , 5F045BB04 , 5F045EE02 , 5F045EE14 , 5F045EE17 , 5F045EE18 , 5F045EE19 , 5F045EE20 , 5F045EF05 , 5F058BA06 , 5F058BA11 , 5F058BC02 , 5F058BC03 , 5F058BC08 , 5F058BC09 , 5F058BD03 , 5F058BD04 , 5F058BD05 , 5F058BD09 , 5F058BD10 , 5F058BD12 , 5F058BF06 , 5F058BF22 , 5F058BF29 , 5F058BF30 , 5F058BF37 , 5F058BJ04

引用特許：

出願人引用 (3件)

独国公開第10342890号公報
独国公開第10114956号公報
独国公開第10057491A1号公報

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