特許
J-GLOBAL ID：200903071256063921
プリント回路基板の自動光学検査装置における歪み補正方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-005336
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035936
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 プリント回路基板の自動光学検査装置に用いられる、基板の局所的な歪みを補正することが可能な方法及び装置を提供する。【構成】 基板上のパターン構成要素のCAD設計上のデータベース信号を、走査線毎に並べられた画素群の状態遷移に対応する画素群信号として受けるステップと、基板を小タイル領域に分割し、上記信号を複数の小タイル領域設計信号アレイとして得るステップS66と、完成された基板を走査して、設計上のデータベース信号と同様に実走査データベース信号を、複数の小タイル領域実走査信号アレイとして得るステップS64と、設計と実走査信号のアレイとを比較するステップS70と、この比較で、完成された基板上のパターン構成要素の画素の実位置の設計上との位置変化を表す歪みベクトル信号を生成するステップと、完成基板の欠陥の検査中で、自動光学検査装置に送られる、走査された画素の位置変化を取り除く信号を生成するステップS74とを有する。
請求項（抜粋）：
プリント回路基板の自動光学検査装置に用いられる、プリント回路基板に発生する歪みの補正方法であって、プリント回路基板上に形成すべきパターン構成要素の設計上のデータベース信号を、一本の走査線毎に並べられた多数の画素群の状態遷移に対応する画素群信号として受けるステップと;上記基板を格子状に分割された複数の略矩形の小タイル領域に分割し、上記設計上のデータベース信号をこの小タイル領域内の複数の信号アレイに分けてグループ化して、複数の小タイル領域設計信号アレイとして得るステップと;完成された基板を走査して、該完成基板上のパターン構成要素のデータベースを表す、上記設計上のデータベース信号と同様の画素群信号からなる実走査データベース信号を受けるステップと;上記実走査データベース信号を、上記基板の格子状に分割された複数の小タイル領域内の複数の信号アレイに分けてグループ化し、複数の小タイル領域実走査信号アレイとして得るステップと;上記各小タイル領域において、上記小タイル領域設計信号アレイと小タイル領域実走査信号アレイとを比較するステップと;この小タイル領域設計信号アレイと小タイル領域実走査信号アレイとの比較に基づき、完成された基板上の各小タイル領域について、完成基板上のパターン構成要素の画素の実位置の設計上の位置からの位置変化を表す歪みベクトル信号を生成するステップと;上記完成基板の欠陥の検査中において、上記自動光学検査装置に送られる、上記走査された画素の位置変化を取り除く信号を生成するステップと;を有することを特徴とするプリント回路基板の自動光学検査装置における歪み補正方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G06T 7/00
, H05K 3/00
G06F 15/62 405 Z
, G06F 15/70 455 A
