特許
J-GLOBAL ID：200903071265319548
コレット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-077391
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270599
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】半導体素子チップを基板に押圧・加熱することによってマウントする際に用いられるコレットにおいて、チップの傾きを補正し、かつ、チップの反りを実用上問題ない程度に抑えて押圧・加熱できるようにする。【解決手段】素子チップ105 を基板107 に接着固定する際に、前記素子チップを前記基板に押圧するためのコレット101 において、前記素子チップと直接接触する押圧部103 と、少なくとも首振りの自由度を前記押圧部に与えるべく支持し、この押圧部の前記基板に対する押圧方向の傾きを、押圧部に加わる力の作用により変化させる傾き調節機構104 とを具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
素子チップを基板に接着固定する際に、前記素子チップを前記基板に押圧するためのコレットにおいて、前記素子チップと直接接触する押圧部と、少なくとも首振りの自由度を前記押圧部に与えるべく支持し、この押圧部の前記基板に対する押圧方向の傾きを、押圧部に加わる力の作用により変化させる傾き調節機構とを具備したことを特徴とするコレット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05K 13/04 R
, B25J 15/06 A
