特許

J-GLOBAL ID：200903071265637310

半導体製造装置の稼動管理システム及び稼動管理方法

発明者： 山口 弘一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283248
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110696
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造装置への各種製品投入に関して正確な性能稼動率を求めることのできる半導体製造装置の稼動管理システム及び稼動管理方法を提供する。【解決手段】 ホストコンピュータHSTは、データ装置11に含まれるデータすべてを一元管理している。端末PCは各半導体製造装置MCに対して1対1で対応でき、ネットワークNTWを介してホストコンピュータHSTと通信できる。各半導体製造装置MCに投入される処理ロット各々について、その製品毎の処理条件(処理時間や温度)に関する詳細なデータ(レシピIDという)各々に対応して、その半導体製造装置MCの予定処理数レシピP/Hとして設けられる。1日に様々な条件(レシピID)で各々の半導体製造装置MCが使用され、その都度、レシピP/Hと実績処理数から、稼動状態をリアルタイムで評価する。

請求項（抜粋）：

半導体装置の製造ラインにおける、各半導体製造装置を経るロットの状態監視を行うクライアント/サーバー型の管理システムであって、ロットの基礎データ、履歴データを管理するサーバーにネットワークにより繋がり、ロット状態を管理するため前記各半導体製造装置それぞれに配備されるクライアントを具備し、前記サーバーには前記基礎データに応じた前記各半導体製造装置の一定時間当りの予定処理数がデータとして取りこまれ、前記基礎データに対応して得られる前記履歴データに関する個々の実績処理数のデータと比較されることにより、前記製造ラインにおける前記各半導体製造装置それぞれの稼動状態を評価することを特徴とする半導体製造装置の稼動管理システム。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  B23Q 41/08 ,  G05B 19/418

FI (3件)：

H01L 21/02 Z ,  B23Q 41/08 B ,  G05B 19/418 Z

Fターム (21件)：

3C042RH05 ,  3C042RJ08 ,  3C042RJ11 ,  3C042RJ16 ,  3C042RJ20 ,  3C042RK17 ,  3C042RK29 ,  3C042RL11 ,  5H269AB17 ,  5H269AB27 ,  5H269EE11 ,  5H269KK01 ,  5H269KK03 ,  5H269PP02 ,  5H269QB15 ,  5H269QE34 ,  5H269QE37 ,  9A001JJ44 ,  9A001JJ61 ,  9A001KK54 ,  9A001LL09