特許

J-GLOBAL ID：200903071270218210

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメントおよびめっきレジストの製造法

発明者： 太田 文彦 ,  中野 昭夫 ,  土川 信次 ,  石丸 敏明 ,  野尻 剛 ,  川本 峰雄 ,  高橋 昭雄 ,  赤星 晴夫
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186719
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341521
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 アルカリ現像性と耐無電解銅めっき性を両立すると共に、可とう性に優れた感光性エレメント及びレジストが得られる感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、カルボキシル基含有ビニル単量体及び他のビニル単量体を共重合して得られた線状高分子化合物に、グリシジル(メタ)アクリレートを付加させた不飽和線状高分子化合物、酸無水物変性エポキシアクリレート化合物、末端エチレン基を2個以上含む光重合性不飽和化合物及び光開始剤を有してなる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメントおよびめっきレジストの製造法。

請求項（抜粋）：

(A)(a)一般式(I)で示されるポリエチレングリコール構造含有単量体5〜60重量部、【化1】(式中、R1は水素、ハロゲン又はメチル基を表し、R2はエチレン基又はプロピレン基を表し、R3は水素原子、炭素原子数1〜9を有するアルキル基を表し、nは1〜23の整数である)(b)一般式(II)で示される芳香環を含むビニル単量体0〜60重量部、【化2】(式中、R4は水素、ハロゲン又はメチル基を表し、R5は炭素原子数1〜3を有するアルキル基若しくは炭素原子数1〜3を有するアルコキシル基又はハロゲン原子を表し、xは0〜5の整数である)(c)カルボキシル基を有するビニル単量体30〜40重量部及び(d)上記(a)、(b)及び(c)成分以外のビニル単量体0〜20重量部を(a)、(b)、(c)及び(d)成分の総量が100重量部となる量で共重合させて得られる高分子化合物に、オキシラン環及びエチレン性不飽和結合をそれぞれ一個有する化合物を、エポキシ基当量/カルボキシル基当量比が0.2〜0.6の範囲となるように反応させて得られる不飽和高分子化合物、(B)オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂及びハロゲン化フェノールノボラック型エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸とを、酸当量/エポキシ当量比が0.5〜1.05の範囲になるように反応させて得られる不飽和化合物に飽和又は不飽和の多塩基酸無水物を反応させて得られる酸無水物変性エポキシアクリレート化合物、(C)末端にエチレン基を少なくとも2個有する光重合性不飽和化合物および(D)活性光の照射により遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/027 502 ,  C08F 2/50 MDK ,  C08F299/00 MRN ,  C08F299/02 MRV ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/18