特許

J-GLOBAL ID：200903071277372916

オゾン発生装置

発明者： 芳賀 義昭 ,  成田 秀夫
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
代理人 (1件)： 今井 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-105271
公開番号（公開出願番号）：特開平10-287407
出願日： 1997年04月07日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 沿面放電式オゾン発生装置における放電を増大させるとともに、原料ガスの流通路を制限しオゾンの高濃度化を図る。【解決手段】 原料ガスの供給口6とオゾン化ガス取出口8をそなえたオゾン発生チャンバ1内に、高周波高電圧電源に接続された放電電極2と、この放電電極20に誘電体31、32を介して対向する接地電極41、42をそなえ、沿面放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装置において、オゾン発生素子の放電電極20および接地電極41、42のいずれか一方たとえば放電電極20を、誘電体31、32を介して他方の接地電極41、42で挟むように構成して、放電電極20の両側で放電させ、誘電体31、32間で放電電極の両側に原料ガスの流通空間11を形成する。

請求項（抜粋）：

原料ガスの供給口とオゾン化ガス取出口をそなえたオゾン発生チャンバ内に、高周波高電圧電源に接続された放電電極と、この放電電極に誘電体を介して対向する接地電極をそなえ、沿面放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装置において、オゾン発生素子の放電電極と接地電極の一方の電極を、誘電体を介して他方の電極で挟持するように構成したことを特徴とするオゾン発生装置。