特許
J-GLOBAL ID:200903071282362058

多層膜ローパスフィルタおよびこれを用いた光学部品

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 阪本 善朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-342387
公開番号(公開出願番号):特開2000-147248
出願日: 1998年11月16日
公開日(公表日): 2000年05月26日
要約:
【要約】【課題】 リップルのないすぐれた透過率分光特性を有するローパスフィルタを実現する。【解決手段】 基板10に所定層数の高屈折率膜Haと低屈折率膜Laからなる調整層21を積層し、その上に高屈折率膜H1 と低屈折率膜L1 からなる固定層22を設けて、全体でローパスフィルタとして必要な光学特性を有する誘電体多層膜20を構成する。調整層21の高屈折率膜Haと低屈折率膜Laの屈折率差は、固定層22の高屈折率膜H1 と低屈折率膜L1 の屈折率差より小さくて、全体の膜構成の周期性を乱すことで、透過率分光特性のリップルを除去することができる。
請求項(抜粋):
基板上に高屈折率膜と低屈折率膜を交互に積層した誘電体多層膜を有し、該誘電体多層膜の前記基板側の下部層を構成する前記高屈折率膜と前記低屈折率膜の屈折率差が、残りの上部層を構成する前記高屈折率膜と前記低屈折率膜の屈折率差より小さいことを特徴とする多層膜ローパスフィルタ。
IPC (3件):
G02B 5/28 ,  B32B 9/00 ,  G02B 27/46
FI (3件):
G02B 5/28 ,  B32B 9/00 A ,  G02B 27/46
Fターム (39件):
2H048GA04 ,  2H048GA09 ,  2H048GA12 ,  2H048GA46 ,  2H048GA56 ,  2H048GA62 ,  4F100AA05B ,  4F100AA06B ,  4F100AA17A ,  4F100AA17B ,  4F100AA19B ,  4F100AA20B ,  4F100AA21A ,  4F100AA26B ,  4F100AA27A ,  4F100AR00A ,  4F100AR00B ,  4F100AT00C ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA08 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100BA13 ,  4F100BA26A ,  4F100BA26B ,  4F100GB90 ,  4F100JA20A ,  4F100JA20B ,  4F100JG05A ,  4F100JG05B ,  4F100JN18A ,  4F100JN18B ,  4F100JN18C ,  4F100JN30 ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C

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