特許

J-GLOBAL ID：200903071290008115

微細パタン投影露光装置

発明者： 為近 恵美 ,  松尾 誠太郎 ,  小松 一彦 ,  竹内 良亘 ,  原田 勝征 ,  三村 義昭 ,  堀内 敏行
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-148133
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121290
出願日： 1991年05月24日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】 1次光源での照度を低下させず、レチクル照射光に対して投影光学系の開口数に応じた傾きを与え得るような2次光源を形成し、通常の露光装置に比べて露光強度を保ったまま解像度を向上させる。【構成】 フィルタ10を通った光束をドーナツ状光ファイバの束21に導き、そのファイバ束21を通じて所望の半径の円環状の光束つまり2次光源を実現するように設定する。これにより、レチクルを照射する光が光軸に対して投影光学系の開口数に応じた傾きを持つように、その光ファイバなどによって円環状の2次光源を形成してレチクルを照射する。

請求項（抜粋）：

物面マスク上のパタンを投影光学系を介してウエハ上に投影露光する投影露光装置において、前記マスクを照射する光線が光軸に対して投影レンズの開口数に対応した角度の傾きを与えるような、前記マスクを照明する2次光源の射出面の大きさと射出面内強度分布を実現するための手段を有することを特徴とする微細パタン投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-160914
  
• 特開昭62-115719