特許
J-GLOBAL ID：200903071290523230
赤外線利用非破壊検査方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-274391
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128264
出願日： 1993年11月02日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】微細な表面欠陥と内部欠陥とを同一装置で非破壊に検査できるようにする。【構成】レーザ装置1により照射されたレーザ光は、被検体3の表面で反射して、赤外線カメラ2に入る。表面欠陥4にて反射されたレーザ光は、反射角が変えられて赤外線カメラ2に入らない。この結果、表面欠陥4の部分が、赤外線カメラ2により低温部として検出される。表面欠陥検出後も引き続きレーザ光を照射し被検体を加熱すると、熱は矢印Bの方向に伝導する。内部欠陥5では熱抵抗が大きいため、内部欠陥5の被検体3の表面側の温度が上昇し、内部欠陥5は赤外線カメラ2により高温部として検出される。
請求項（抜粋）：
被検体に一定方向に光を照射し、その際所定の方向に反射された光を赤外線検出手段で受光して、その反射光の光量の違いを温度差として検出して前記被検体表面の状態を検出するようにし、引き続き前記被検体表面に光を照射して前記被検体を加熱し、その際前記被検体の発する赤外線を赤外線検出手段で受光し、この赤外線量の違いを温度差として検出し、前記被検体の温度分布を検出し、前記被検体の内部の状態を検出するようにしたことを特徴とする赤外線利用非破壊検査方法。
IPC (2件)：
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