特許
J-GLOBAL ID：200903071296236152

金属酸化物薄膜の作製方法

発明者：
田中 俊章

田中 俊章 について

, 
下西 弘二

下西 弘二 について


出願人/特許権者：
積水化学工業株式会社

積水化学工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-404824
公開番号（公開出願番号）：特開2005-162543
出願日： 2003年12月03日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】プラスチックフィルムのような耐熱性の低い基材に対して、耐熱温度以下の低温において短時間で膜厚変化が小さく緻密な金属酸化物薄膜を作製できるようにする。【解決手段】R”mMe(OR’)n(Meは中心金属、R’は炭化水素基、R”は炭化水素基及びハロゲンもしくはH、n>0)で示される金属アルコキシドを原料に用いて成膜された膜でOH混在比が0.05以上の内部構造を有する金属酸化物薄膜に対して、アルカリ性を有するガスを1種類以上含みかつキャリアガスにて希釈したアルカリ混合ガスの噴霧処理を行って、金属酸化物薄膜中のOH基同士を縮合反応させ金属-酸素結合への変化を促進させることで、膜厚変化が少ない緻密な金属酸化物薄膜を低温・短時間で得られるようにする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
R”mMe(OR’)n(Meは中心金属、R’は炭化水素基、R”は炭化水素基及びハロゲンもしくはH、n>0)で示される金属アルコキシドを原料に用いて成膜された金属酸化物薄膜に対して、アルカリ性を有するガスを1種類以上含みかつキャリアガスにて希釈したアルカリ混合ガス、または、前記アルカリ混合ガスと水分を含むガスとの混合ガスを噴霧することを特徴とする金属酸化物薄膜の作製方法。
IPC (5件)：
C01B13/14 ,  B05D3/10 ,  B05D7/24 ,  C23C16/42 ,  C23C16/56
FI (5件)：
C01B13/14 Z ,  B05D3/10 A ,  B05D7/24 302Y ,  C23C16/42 ,  C23C16/56
Fターム (50件)：
4D075BB70Z ,  4D075BB73Z ,  4D075BB77Z ,  4D075BB78Z ,  4D075BB79Z ,  4D075BB85Y ,  4D075BB91Z ,  4D075CA02 ,  4D075CA22 ,  4D075CA34 ,  4D075CA42 ,  4D075CB02 ,  4D075CB06 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB33 ,  4D075DB36 ,  4D075DB37 ,  4D075DB38 ,  4D075DB39 ,  4D075DB40 ,  4D075DB43 ,  4D075DB48 ,  4D075DB53 ,  4D075DB55 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EB43 ,  4D075EB47 ,  4D075EB56 ,  4D075EC08 ,  4G042DA01 ,  4G042DB06 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DE09 ,  4G042DE14 ,  4K030AA06 ,  4K030AA10 ,  4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030BA44 ,  4K030CA07 ,  4K030CA17 ,  4K030DA08 ,  4K030FA01 ,  4K030HA03 ,  4K030LA01
引用特許：
出願人引用 (1件)

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