間隙形成シートおよび間隙形成シート製造方法ならびに平板状電極接合方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-266942
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119881
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】複数の平板状電極を短時間で精度良く積層するための間隙形成用シートを提供することを目的とする。【構成】電子ビームを制御するための複数の平板状電極5a〜5dと、前記平板状電極間の間隙を形成するための間隙材3と、前記平板状電極を接合するための接合用ペースト材4と前記間隙材および接合うペースト材を形成するための支持体1からなり、支持体1上に形成した間隙材3および接合用ペースト4を平板状電極面に押圧転写し、積層した平板状電極5a〜5dを焼成することによって接合用ペースト材4を溶融し、一定の間隙を有しながら平板状電極5a〜5dを接合する。

請求項（抜粋）：