特許

J-GLOBAL ID：200903071306295551

欠陥検出装置の調整方法、調整装置およびその基準板

発明者： 新井 規之 ,  石田 雅春
出願人/特許権者： 東芝エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-271164
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136473
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】 欠陥検出装置の調整に使用される基準板を提供すること。【構成】 両端部分にそれぞれ所定の幅の第1および第2の線M、Nが描かれ、そして、第1および第2の線M、Nに挟まれた領域で、かつ第1および第2の線M、Nと同じ面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線a〜cが平行に描かれている

請求項（抜粋）：

互いに離れた位置にそれぞれ所定の幅の第1および第2の線が描かれ、そして、前記第1および第2の線の挟まれた領域で、かつ前記第1および第2の線と同じ面に互いに幅が異なる少なくとも2本の線が平行に描かれている欠陥検出装置用の基準板。

IPC (5件)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (2件)：

G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 C