特許

J-GLOBAL ID：200903071306998986

窒化珪素質焼結体の製造方法

発明者： 佐藤 政宏
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-329254
公開番号（公開出願番号）：特開平7-187791
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【構成】窒化珪素を主成分とし、周期律表第3a族元素の1種以上を酸化物換算で0.3〜10mol%含有し、Al、MgおよびCaが総量で0.5重量%以下の組成からなる相対密度90%以上の焼結体を作製した後、該焼結体を窒素ガスと、アルゴンガスと、COガスあるいはSiOガスとを含み、前記窒素が1〜100気圧、前記アルゴンガスが1000〜2000気圧、および前記COガスあるいはSiOガスが0.01〜10気圧の混合ガス中でで焼成する。【効果】室温から高温、特に1500°Cまでの焼き放し面強度が高く、優れた耐酸化性を有する窒化珪素質焼結体を提供することができる。

請求項（抜粋）：

窒化珪素を主成分とし、周期律表第3a族元素の1種以上を酸化物換算で0.3〜10mol%含有し、Al、MgおよびCaが総量で0.5重量%以下の組成からなる相対密度90%以上の焼結体を作製した後、該焼結体を窒素ガスと、アルゴンガスと、COガスあるいはSiOガスとを含み、前記窒素が1〜100気圧、前記アルゴンガスが1000〜2000気圧、および前記COガスあるいはSiOガスが0.01〜10気圧の混合ガス中で焼成することを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。

IPC (2件)：

C04B 35/584 ,  C04B 35/64

FI (3件)：

C04B 35/58 102 C ,  C04B 35/58 102 T ,  C04B 35/64 A