特許

J-GLOBAL ID：200903071311593331

光学測定装置及び方法

発明者： ムルタ,マーティン,エドワード ,  ケリー,パトリック,ビンセント
出願人/特許権者： オプティカル・メトロロジー・パテンツ・リミテッド
代理人 (1件)： 梅田 明彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-554879
公開番号（公開出願番号）：特表2006-509190
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

変調分光システム1が、プローブビーム11をサンプル10上に向け、反射されたプローブビームは集光器7によって集光され、検出器8により処理される。光源4、5によって作られたポンプビームは、ポンプビーム13をサンプル上のプローブビームと同じにスポットに向ける。しかし、同時にポンプビームをそのプローブスポットに重ならない隣接した位置に切り換えることも行われる。これは空間変調と呼ばれる。集光サブシステム7の円柱レンズ16は、両ポンプビームスポットからのルミネセンスを同時に含む反射光を集光し、従ってルミネセンスは除去が容易に行えるDC信号となる。また、変調器からのポンプビームの強度と位置を変えるための手段も備える。これは不要なバックグラウンドのルミネセンス信号を除去する手段となると同時にS/N比を改善する。

請求項（抜粋）：

サンプルにプローブビーム及びポンプビームを向け、かつ前記ポンプビームを変調する過程を有し、前記プローブビームが前記サンプルから反射され、反射された前記プローブビームが検出器によって検出され、前記ポンプビームが、その前記サンプル上の入射位置を前記プローブビームの入射位置と異なる位置との間で動かすことによって空間変調され、両位置からのルミネセンスを前記プローブビームで変調されないように受け取ることを特徴とする変調分光測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/27 ,  G01J 3/433

FI (2件)：

G01N21/27 B ,  G01J3/433

Fターム (26件)：

2G020BA18 ,  2G020BA20 ,  2G020CA13 ,  2G020CC26 ,  2G020CD03 ,  2G020CD12 ,  2G020CD22 ,  2G020CD32 ,  2G020CD51 ,  2G020CD56 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK03 ,  2G059NN01 ,  2G059PP04