特許

J-GLOBAL ID：200903071312095220

スピン乾燥機及びウェハ外周部研磨装置

発明者： 平田 和彦
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 天野 正景 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-142153
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332293
出願日： 2002年05月16日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 遠心力把持式のスピン乾燥機において、複雑高価な検出装置を設けることなく、実質的にメンテナンスの必要がない、確実、安全にウェハ保持の解除を行うことができるスピン乾燥機を提供することを課題とする。【解決手段】 スピン乾燥機にワークWをロード/アンロードするためターンテーブル73を飛散防止カバー75の上側に移動するとき、飛散防止カバー75の一部が回動フック部材74と当接してこれを回動させるため、この係合が強制的に解除される。

請求項（抜粋）：

回転駆動源、上記回転駆動源によって実質的に垂直な軸心回りに回転するスピン軸、円板状のワークを支持するために上記スピン軸に設けられたターンテーブル、上記ターンテーブルに、実質的に水平な回動軸まわりに回転自在に支持され、一端にワーク周縁近傍に係合するための爪部と他端にウェート部を備え、上記スピン軸が回転しないときには、重力によって上記ワークとの係合が外れる姿勢をとり、上記スピン軸が回転するときには、遠心力によって上記ワークと係合する姿勢をとる複数の回動フック部材、及び、上記スピン軸が上記ワークを回転するとき、遠心力によって飛散した液滴を受け止めるために上記ターンテーブルの周囲に位置する円環状の飛散防止カバーを備えたスピン乾燥機において、上記ワークをロード/アンロードするため上記ターンテーブル又は上記飛散防止カバーのいずれかを上記ターンテーブルが上記飛散防止カバーの上側になるように移動させるとき、この飛散防止カバーの一部が上記回動フック部材と当接してこれを回動させることにより上記係合を外すことを特徴とするスピン乾燥機。

IPC (4件)：

H01L 21/304 651 ,  H01L 21/304 621 ,  B24B 9/00 601 ,  F26B 5/08

FI (4件)：

H01L 21/304 651 B ,  H01L 21/304 621 E ,  B24B 9/00 601 H ,  F26B 5/08

Fターム (10件)：

3C049AA03 ,  3C049AA07 ,  3C049AA18 ,  3C049AC04 ,  3C049CA01 ,  3L113AA03 ,  3L113AB08 ,  3L113BA34 ,  3L113DA13 ,  3L113DA22

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 基板固定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-253285   出願人：三菱マテリアル株式会社, 玉川マシナリー株式会社
• ワークのスピン乾燥方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-036512   出願人：沖電気工業株式会社
• 回転処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-067729   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 基板エッジ研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-227437   出願人：株式会社荏原製作所