特許
J-GLOBAL ID：200903071315821169
EOプローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-309426
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146051
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】電気光学効果を用いたEOプローブにおいて、同一電界強度に対する光の偏光変化を大きくし、検出感度を向上させる。【構成】EO結晶端面両側に反射膜を設け入射側の反射膜に2つの開口部を有するEOモジュール1と、ビームエキスパンダ12と、レーザ光の戻り光を減衰させるアイソレータ13と、S偏光成分は全て反射しP成分は一部を透過させる偏光ビームスプリッタ14と、レーザ光を集光する集光レンズ15とから成り、一の開口部に対して所定角度にて偏光方向がEO結晶軸に対して45度に入射させる投光光学系11と、他の開口部から出て偏光ビームスプリッタ14で反射されたレーザ光を1/4波長板17、1/2波長板18及び偏光ビームスプリッタ19を介して受光素子20、20′で受光し、レーザ光の偏光状態を検出する受光光学系16と、偏光変化を電気的に検出する信号処理回路21を備える。
請求項（抜粋）：
電界の方向と平行に進む光に対して電気光学効果を示す縦型電気光学結晶(「EO結晶」という)の、前記電界の方向と交差する端面の一側と他側とにそれぞれ反射膜を備え、前記反射膜の一に互いに所定間隔離間して2つの開口部を備えてなるEOモジュールを含むEOプローブ。
IPC (5件)：
G01R 19/00
, G01R 1/06
, G01R 15/24
, G01R 31/302
, H01L 21/66
G01R 15/07 C
, G01R 31/28 L
