特許

J-GLOBAL ID：200903071318103232

光導波路デバイス

発明者： 松本 浩
出願人/特許権者： 東洋通信機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-175193
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006938
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】 従来の光導波路の光軸とファイバアレイの光軸とをサブミクロンの精度で位置合わせするときに、光軸合わせ工数に極めて時間を要し、コスト高になるという問題があった。本発明は光軸を容易に合わせることが可能な光導波路デバイスを提供することを目的とする。【解決手段】 光導波路の光軸と光ファイバアレイの光軸とを接続する方法を、第1のシリコン基板上に形成したV溝に光ファイバを埋設して光ファイバアレイとし、第2のシリコン基板上にV溝と光導波路を形成した後、第1のシリコン基板上と第2のシリコン基板とを密着した光導波路デバイスである。

請求項（抜粋）：

第1のシリコン基板の所定の位置に形成した複数のV溝に光ファイバを埋設して光ファイバアレイとし、前記光ファイバと対応する位置に光導波路を設けた第2のシリコン基板の所定の位置にV溝を形成すると共に、前記第1のシリコン基板に形成したV溝間の山型部と第2のシリコン基板に形成したV溝とを噛み合わせ接合することにより、第1のシリコン基板の光ファイバアレイの光軸と第2のシリコン基板に形成した導波路の光軸とが一致するよう構成したことを特徴とする光導波路デバイス。