特許
J-GLOBAL ID：200903071318406758
走査型プローブ顕微鏡による元素分析法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-325661
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178934
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 走査型プローブ顕微鏡の高空間分解能性と、オージェ電子分光法、又は高エネルギー電子照射により発生した光子のエネルギー分析法による、元素分析法及び化学結合状態分析法を結び付けて被測定物の表面原子を観察する走査型プローブ顕微鏡による元素分析法を提供する。【構成】 走査型プローブ顕微鏡としての本来の条件で、動作中又は動作を一時中止して、探針14と被測定物13間に、該被測定物から光子又はオージェ電子が放出されるような交流又は直流の超短パルス高電圧を単発又は繰り返し印加しながら又は印加した後、探針14と被測定物13を相対移動させて探針で被測定物の表面を走査して、被測定物表面の原子オーダー像を得るとともに、被測定物の表面外に放出された光子又はオージェ電子のエネルギー及び光子数又は電子数を分析する。
請求項（抜粋）：
探針先端と、被測定物の間隔を極めて接近させ、原子オーダー像を観察可能な走査型プローブ顕微鏡としての本来の条件で、動作中又は動作を一時中止して、探針と被測定物間に、該被測定物から光子又はオージェ電子が放出されるような交流又は直流の超短パルス高電圧を単発又は繰り返し印加しながら又は印加した後、探針と被測定物を相対移動させて探針で被測定物の表面を走査して、被測定物表面の原子オーダー像を得るとともに、被測定物の表面外に放出された光子又はオージェ電子のエネルギー及び光子数又は電子数を分析して、被測定物表面原子一個ごとの原子核の三次元座標の決定、並びに元素分析、更に化学結合状態分析に関する面分布の測定を行うことにより、元素及び化合結合情報を含んだ原子像を得ることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡による元素分析法。
IPC (2件)：
引用特許：
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