特許

J-GLOBAL ID：200903071319963138

反射防止膜を付した物品の検査方法とその装置

発明者： 村松 鋭一 ,  木戸口 賢
出願人/特許権者： 澁谷工業株式会社
代理人 (1件)： 神崎 真一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-371587
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172707
出願日： 2001年12月05日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【解決手段】 検査装置1は、反射防止膜4を付した透明なワーク2に光を照射する光源6と、ワーク2を透過した光と影が投影される投影シート7と、上記透明なワーク2越しに投影シート7を撮影するラインカメラ8を備えている。反射防止膜4に傷があるとラインカメラ8で撮影した画像に黒い影が発生するので、それをもとに画像処理手段11はワーク2が欠陥品であることを判定する。【効果】 確実かつ効率的に反射防止膜4を付したワーク2の検査を行なうことができる。

請求項（抜粋）：

表面に反射防止膜を付した透明な物品に光を照射して、上記物品に欠陥があるか否かを検査する反射防止膜を付した物品の検査方法であって、上記物品に光を照射して該物品を透過した光を投影シートに投影し、上記投影シートに投影された光と影を基に上記物品に欠陥があるか否かを検査することを特徴とする反射防止膜を付した物品の検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/892 ,  G02B 1/11 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 510

FI (4件)：

G01N 21/892 A ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 510 ,  G02B 1/10 A

Fターム (26件)：

2G051AA41 ,  2G051AA42 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA00 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA13 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA18 ,  2H088MA20 ,  2H091FA07X ,  2H091FA37X ,  2H091FC30 ,  2H091FD11 ,  2H091LA12 ,  2K009AA02 ,  2K009BB02 ,  2K009BB11 ,  2K009DD01 ,  2K009EE00 ,  2K009FF01