ガスノズル

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-233545
公開番号（公開出願番号）：特開2001-054746
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】吹出口からのガスの流速分布を均一にすることができるガスノズルを提供する。【解決手段】箱型をなすノズル本体11の一端面側に当該ノズル本体11内のヘッダ11cにガス1を供給する管型の供給口11aを設け、ノズル本体11の他端面側に上記ヘッダ11cからのガス1を吹き出すスリット状の吹出口11bを形成し、焼結金属やセラミックスなどからなる多孔質体12をノズル本体11の内部の供給口11aと吹出口11bとの間に当該ノズル本体11の内部を供給口11a側と吹出口11b側とに仕切るようにして設けてなる。

請求項（抜粋）：

ガスを供給される供給口と、前記供給口からの前記ガスを吹き出す吹出口とを有するノズル本体を備えてなるガスノズルにおいて、前記ノズル本体の内部の前記供給口と前記吹出口との間に前記ガスの圧力損失を増大させるガス流速調整手段を設けたことを特徴とするガスノズル。

IPC (3件)：

B05B 1/04 , C23C 16/455 , H01L 21/205

FI (3件)：

B05B 1/04 , C23C 16/455 , H01L 21/205

Fターム (17件)：

4F033AA14 , 4F033BA01 , 4F033CA05 , 4F033DA01 , 4F033EA01 , 4F033GA10 , 4F033HA01 , 4F033HA05 , 4F033NA01 , 4K030EA04 , 4K030EA05 , 5F045EE20 , 5F045EF01 , 5F045EF02 , 5F045EF04 , 5F045EF05 , 5F045EF11

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