特許
J-GLOBAL ID:200903071324804056
レーザー生成プラズマを用いてX線の強度増幅と空間コヒーレンス改善をおこなう方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 桜井 周矩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-246857
公開番号(公開出願番号):特開2004-087803
出願日: 2002年08月27日
公開日(公表日): 2004年03月18日
要約:
【課題】パルスレーザー照射によるプラズマX線源では、X線増幅媒質中での利得時間が短いため、折り返し増幅のX線往復回数は数回に制限されてフレネル数低減に限界がある。【解決手段】第一ターゲットに外部からX線レーザー発振用パルスレーザー光を照射し、このターゲットから空間コヒーレントの悪いX線レーザーパルスを発生させ、これを第二ターゲットに導入し、第二ターゲットに、第一ターゲットからのX線レーザーパルスが通過するタイミングで、別の線状プラズマ生成用パルスレーザー光を線集光させて照射することにより、増幅され、且つ空間コヒーレンスが改善されたX線レーザーを発振させることを特徴とする、レーザー生成プラズマを用いてX線レーザーの強度増幅と空間コヒーレンス改善をおこなう方法。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
レーザー生成プラズマに外部からX線を導入し、その強度増強と空間コヒーレンス改善をおこなう方法。
IPC (4件):
H01S4/00
, G21K1/00
, G21K5/08
, H01L21/027
FI (4件):
H01S4/00
, G21K1/00 X
, G21K5/08 X
, H01L21/30 531S
Fターム (8件):
5F046GC03
, 5F072AB20
, 5F072AK03
, 5F072JJ02
, 5F072JJ13
, 5F072JJ20
, 5F072RR07
, 5F072SS06
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