特許

J-GLOBAL ID：200903071325665106

ウエーハ加熱用ヒータ

発明者： 野村 久志 ,  田辺 幹雄 ,  池田 文秀
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-276969
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090177
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 ウェーハの温度を均一にする。【構成】 ウェーハ7を低圧反応ガス雰囲気中で加熱する抵抗加熱型ヒータ1の端部に、該ヒータ1の端部分1Aの温度低下を補償する補助ヒータ3を設ける。

請求項（抜粋）：

反応室内にウェーハ置台を設け、このウェーハ置台上にサセプタを設け、このサセプタ上にウェーハを載置し、ウェーハ置台の下方に抵抗加熱型ヒータを設け、このヒータによりサセプタを介してウェーハを低圧反応ガス雰囲気中で加熱し、ウェーハ表面にCVD膜を生成するCVD装置において、電力が印加される抵抗加熱型ヒータ(1)の端部に、該ヒータ(1)の端部分(1A)の温度低下を補償する補助ヒータ(3)を設けてなるウェーハ加熱用ヒータ。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/31

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-278322
  
• 特開昭51-135363