レジストの除去方法、およびこれに用いる接着剤もしくは接着シート類

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-320305
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143990
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】物品上のレジスト材を接着シート類を用いて剥離除去するにあたり、レジスト材の性状などに関係なく、確実に除去する。【解決手段】物品上に存在するレジスト材の上面に接着シート類を貼り付け、この接着シート類とレジストとを一体に剥離して、物品上のレジスト材を除去する方法において、接着剤の設計に新たに浸透力指数という指数を設定し、この値が50dyne/(cm・P)以上の成分を用いることを特徴とするレジスト材の除去方法。

請求項（抜粋）：

レジストが存在する物品上に、接着剤層を設け、この接着剤層とレジスト材とを一体に物品から剥離するレジストの除去方法において、接着剤層の設計に(1)式により設定される浸透力指数を用いることを特徴とするレジスト除去方法。I=IT×F (1)I:浸透力指数(dyne/(cm・P))IT:湿潤張力(IT=γLCOSθ+γLCOSθ’)γL:表面自由エネルギー(dyne/cm)θ:接触角(degree)F:粘性因子(F=1/(V+1))V:粘度(P)

IPC (3件)：

H01L 21/027 , C09J 7/02 , G03F 7/42

FI (3件)：

C09J 7/02 Z , G03F 7/42 , H01L 21/30 572 Z

Fターム (12件)：

2H096LA06 , 4J004AA01 , 4J004AA10 , 4J004AB01 , 4J004AB07 , 4J004CA02 , 4J004CA04 , 4J004CA06 , 4J004CC02 , 4J004FA05 , 4J004FA10 , 5F046MA19

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