乾式シール材、その製造方法、クリーンルーム、および局所設備

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-174643
公開番号（公開出願番号）：特開平9-095660
出願日： 1996年07月04日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】クリーンルーム内や半導体製造装置内等にガス状有機物を存在させないようにする。【解決手段】エアフィルターを天井等の開口部に取り付ける際に介装されるガスケットなどの乾式シール材として、使用時にガス状有機物を発生しないものを用いる。具体的には、原料ゴムに配合する滑剤として、炭素数19以下の脂肪族炭化水素を含まないもの(例えばマイクロクリスタリンワックス)を使用する。可塑剤として分子量400以上のカルボン酸エステル等を、酸化防止剤として分子量300以上のフェノール系化合物を使用する。

請求項（抜粋）：

原料ゴムと配合剤とを混合して所定形状に成形された乾式シール材において、前記原料ゴムおよび配合剤のうちの少なくともいずれかがガス状有機物を発生しないものであることを特徴とする乾式シール材。

IPC (13件)：

C09K 3/10 , B29D 31/00 , C08K 5/10 KDB , C08K 5/13 KDC , C08L 9/02 LAY , C08L 9/06 LSJ , C08L 11/00 , C08L 15/02 , C08L 21/00 LBU , E04B 1/684 , F24F 7/06 , E04H 5/02 , B29K219:00

FI (12件)：

C09K 3/10 C , B29D 31/00 , C08K 5/10 KDB , C08K 5/13 KDC , C08L 9/02 LAY , C08L 9/06 LSJ , C08L 11/00 , C08L 15/02 , C08L 21/00 LBU , F24F 7/06 C , E04H 5/02 B , E04B 1/68 D

引用特許：

出願人引用 (12件)

特開昭56-129283
特開昭63-265940
特開昭63-207838

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審査官引用 (36件)

特開昭56-129283
特開昭56-129283
特開昭56-129283

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