還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067385
公開番号（公開出願番号）：特開平10-245285
出願日： 1997年03月04日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】 1000°Cを超える高温の還元性ガス雰囲気中においても、優れた還元性ガス反応抑制効果を発揮し、製品寿命を大きく延ばすことができる還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料は、黒鉛基材の表面に、微粒子が緻密に積層した結晶組織のTaC被膜が形成され、かつ該黒鉛基材の特性値として熱膨張係数が、前記炭化タンタル被膜の熱膨張係数±2.0×10-6/Kの範囲内にあることを特徴とする。また、本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法は、ターゲット材としての金属タンタル及び反応ガスを使用してアークイオンプレーティング(AIP)式反応性蒸着法により上記の熱膨張係数を特性値として有する黒鉛基材の表面に炭化タンタルの皮膜を形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

黒鉛基材の表面に、微粒子が緻密に積層した結晶組織の炭化タンタルの被膜が形成され、かつ該黒鉛基材の特性値として熱膨張係数が、前記炭化タンタル被膜の熱膨張係数±2.0×10-6/Kの範囲内にあることを特徴とする還元性雰囲気炉用炭素複合材料。

IPC (5件)：

C04B 41/87 , C01B 31/34 , C04B 35/52 , C23C 14/06 , C23C 14/32

FI (5件)：

C04B 41/87 U , C01B 31/34 , C23C 14/06 B , C23C 14/32 Z , C04B 35/54 E

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭56-017914
特開平4-325681
特開平1-249679

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