特許
J-GLOBAL ID:200903071327881094
水素精製フィルタおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
米田 潤三
, 皿田 秀夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-150958
公開番号(公開出願番号):特開2007-319743
出願日: 2006年05月31日
公開日(公表日): 2007年12月13日
要約:
【課題】水素精製において優れた水素透過効率を示す水素精製フィルタと、この簡便な製造方法を提供する。【解決手段】水素精製フィルタを、多孔支持体の一方の面に孔部を覆うように配設された前面Pd合金膜と、孔部の内壁面を含む多孔支持体の他方の面および孔部内に位置する前面Pd合金膜上に配設された背面Pd合金膜とを備えたものとし、前面Pd合金膜と背面Pd合金膜との積層部位を水素透過膜とする。この水素精製フィルタは、エッチング工程にて、複数の孔部を穿設して多孔支持体を作製し、無電解めっき工程にて、多孔支持体の一方の面にフィルムレジストを貼設し、多孔支持体の他方の面側から無電解めっきにより孔部の内壁面を含む多孔支持体上と、孔部内に位置するフィルムレジスト上とに背面Pd合金膜を形成し、電気めっき工程にて、フィルムレジストを除去して露出した面に、電気めっきにより前面Pd合金膜を形成することにより作製する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
孔部を複数有する多孔支持体と、該多孔支持体の一方の面に前記孔部を覆うように配設された前面Pd合金膜と、前記孔部の内壁面を含む前記多孔支持体の他方の面および前記孔部内に位置する前記前面Pd合金膜上に配設された背面Pd合金膜とを備え、前記孔部に位置する前記前面Pd合金膜と前記背面Pd合金膜との積層部位が水素透過膜であることを特徴とする水素精製フィルタ。
IPC (4件):
B01D 71/02
, C01B 3/56
, B01D 69/10
, C23C 28/02
FI (4件):
B01D71/02 500
, C01B3/56 Z
, B01D69/10
, C23C28/02
Fターム (28件):
4D006GA41
, 4D006MA03
, 4D006MA09
, 4D006MA31
, 4D006MB04
, 4D006MC02
, 4D006MC02X
, 4D006NA45
, 4D006NA50
, 4D006PA03
, 4D006PB18
, 4D006PB66
, 4D006PC80
, 4G140FA02
, 4G140FB04
, 4G140FC01
, 4G140FE01
, 4K044AA03
, 4K044AB08
, 4K044BA08
, 4K044BB03
, 4K044BB13
, 4K044CA04
, 4K044CA15
, 4K044CA18
, 5H027AA06
, 5H027BA01
, 5H027BA16
引用特許:
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