特許
J-GLOBAL ID：200903071328882965
走査型プローブ顕微鏡装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347361
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201315
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】本発明は、容易に試料探針間距離の正確な設定及び見積りが行え、一定の試料探針間距離での探針走査ができる走査型プローブ顕微鏡装置を提供することを目的とする。【構成】本発明は、マイコン21により試料26が載置されるXYZ駆動圧電体27の伸縮動作が制御され、任意のX,Y,Z方向に微動される。その試料表面にカンチレバー31が先端部を近付けられ、加振圧電体32による所定振動(振幅信号S2)若しくは、無振動(変位信号S1)で走査され、MFMにより検出された探針の変位の中心値と、探針の振動振幅値の試料探針間との距離の依存性曲線が測定され、2つの曲線が画像化され、等磁力勾配像の測定における振動振幅値の設定とコンスタントハイト像測定における試料探針間距離が設定及び見積りされ、得られた変位がホストコンピュータ22により画像表示される走査型プローブ顕微鏡装置である。
請求項（抜粋）：
尖った探針部を有するカンチレバーと、前記探針部の変位を検出する手段と、前記探針部の共振特性の変化を検出する手段と、前記試料を3次元に制御駆動する手段と、前記試料の表面情報を記憶する手段と、複数の前記表面情報を演算処理する手段と、前記表面情報を画像形成する手段とで構成される走査型プローブ顕微鏡において、前記試料と無振動の探針に働く力情報からなる第1の表面情報及び、所定振動する探針を用いた磁気力の勾配情報からなる第2の表面情報の試料探針間距離に対する依存性の測定を同時に行ない、第1の表面情報若しくは第2の表面情報のいずれかに基づく試料探針間隔を制御することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置。
IPC (5件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, G01R 33/10
, G01R 33/12
, H01J 37/28
