特許
J-GLOBAL ID:200903071329818470

フーリエ変換縞解析方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川野 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-092339
公開番号(公開出願番号):特開2002-286407
出願日: 2001年03月28日
公開日(公表日): 2002年10月03日
要約:
【要約】【目的】 周波数座標系において、原点位置以外のスペクトルの中で振幅が最大となる最大値位置と、この最大値位置と原点との間でスペクトルの振幅が最小となる最小値位置とを求め、これら両位置に基づき、周波数座標系におけるフィルタリング範囲を決定することにより、フィルタリング作業を一意的に安定して行なえるようにして、安定した解析結果を得られるようにする。【構成】干渉縞画像を取り込み(S1)、干渉縞画像データに対してフーリエ変換を施し、周波数座標系上でのスペクトルを得た後(S2)、原点位置のスペクトルのピークを探し出す(S3)。この原点にあるスペクトル以外で最大となるスペクトルのピークPmaxを探し出し(S4)、その座標を得る(S5)。この座標と原点との間で最小となるスペクトルのピークPminを探し出し(S6)その座標を得(S7)、Pmaxを中心としPmaxとPminとの間の距離を半径とした円を、周波数座標系上で描き(S8)、フィルタリング範囲を決定する。
請求項(抜粋):
被観察体の波面情報を担持した縞画像データにフーリエ変換を施し、周波数座標系においてフィルタリングを行なって解析に必要な領域を抽出し、その抽出結果に基づき前記波面情報を求めるフーリエ変換縞解析方法において、前記周波数座標系において、原点におけるスペクトル以外のスペクトルの中で振幅が最大となる最大値位置と、該最大値位置と該原点との間でスペクトルの振幅が最小となる最小値位置とを求め、該最大値位置および該最小値位置に基づき、前記周波数座標系における前記フィルタリングを行なう範囲を決定することを特徴とするフーリエ変換縞解析方法。
Fターム (9件):
2F064AA09 ,  2F064EE01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG70 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ15

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