特許
J-GLOBAL ID:200903071334624196

情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理後における洗浄装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 恩田 博宣 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-345177
公開番号(公開出願番号):特開2003-146707
出願日: 2001年11月09日
公開日(公表日): 2003年05月21日
要約:
【要約】【課題】 ガラス基板の表面に対する金属酸化物の微粒子の付着を減少でき、情報記録媒体用のガラス基板として使用した際の不具合を削減できる情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理後における洗浄装置を提供する。【解決手段】 洗浄装置を構成する洗浄槽11はステンレス鋼から有底四角箱状に形成されている。この洗浄槽11内には温水が貯留され、ガラス基板はこの温水に浸漬される。洗浄槽11の内面には、合成樹脂のライニング又はコーティングによって被膜層13が形成されている。洗浄槽11を形成するステンレス鋼は、この被膜層13によって温水と接触しないようになっている。そして、この被膜層13を形成する合成樹脂としては、耐久性を有することからフッ素系樹脂が好ましい。
請求項(抜粋):
ガラス基板に含まれる一価の金属イオンよりイオン半径の大きな一価の金属イオンからなる化学強化塩の加熱溶融液が収容された化学強化槽中にガラス基板が浸漬されることによって化学強化処理された後に、化学強化槽から取り出されたガラス基板の表面に付着した化学強化塩を含む付着物を洗浄液によって除去するための情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理後における洗浄装置であって、洗浄液を貯留する洗浄槽と、洗浄槽に連結される付帯設備とから構成され、洗浄槽における洗浄液と接触する接液部が合成樹脂で形成されている情報記録媒体用ガラス基板の化学強化処理後における洗浄装置。
IPC (2件):
C03C 23/00 ,  G11B 5/84
FI (2件):
C03C 23/00 A ,  G11B 5/84 Z
Fターム (7件):
4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB19 ,  4G059AC30 ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112GA08

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